集束型半导体制造设备的预防维修计划优化

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：haicang

【摘要】

：

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备--集束型设备(cluster tools)的预防维修计划优化问题.基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基

【作者】

：

厉红钱省三

【机构】

：

浙江理工大学机械与自动控制学院,上海理工大学管理学院

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

2005年11期

【关键词】

：

集束型设备预防维修计划优化遗传算法 cluster tools preventive maintenance scheduling optimiz

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研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备--集束型设备(cluster tools)的预防维修计划优化问题.基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结果说明了研究的实用性.

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