【摘 要】
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设计了一种被动式流体滤波器,它由薄膜及微通道组成,旨在消除由压电泵引起的流体脉动。对流体滤波器进行了理论分析,利用Comsol软件建立滤波器的有限元模型,分别对薄膜变形以
【机 构】
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苏州大学机器人与微系统研究中心,苏州纳米科技协同创新中心
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（“八六三”计划）资助项目（2011AA040404）, 高等学校博士学科点专项科研基金资助项目（20133201110009）, 新世纪优秀人才支持计划资助项目（NCET-13-0923）
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设计了一种被动式流体滤波器,它由薄膜及微通道组成,旨在消除由压电泵引起的流体脉动。对流体滤波器进行了理论分析,利用Comsol软件建立滤波器的有限元模型,分别对薄膜变形以及微通道流阻进行数值计算,并分析了影响滤波效果的参数。仿真结果表明,当微通道内的流体阻力较大时,泵的驱动频率越高,薄膜半径越大,滤波效果更佳。通过实验验证,表明所设计的流体滤波器可以有效减小脉动,压电泵能够提供稳定的流量。
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