【摘 要】
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本文采用化学气相输运法在常压开放系统中以（0001）蓝宝石为基片制备出定向生长的ZnO晶体。以ZnO粉体为原料，NH4Cl为输运气体，O2和H2O为反应气体，加入适量的HCl作刻蚀性气体，通过调
【机 构】
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本文采用化学气相输运法在常压开放系统中以（0001）蓝宝石为基片制备出定向生长的ZnO晶体。以ZnO粉体为原料，NH4Cl为输运气体，O2和H2O为反应气体，加入适量的HCl作刻蚀性气体，通过调节NH4Cl输运量，获得两种不同生长方向的ZnO晶体，分别为（1010）方向和（0002）方向。（0002）方向上生长的晶体呈现六角片状，a、b轴生长速度明显高于c轴方向，晶体在基片上呈外延生长，大面积显露c面，且和蓝宝石c面平行。文中对O2、H2O、NH4Cl、HCl在晶体的生长中的作用和生长机制进行了讨论。
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