【摘 要】
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随着聚对二甲苯（Parylene）镀膜技术的快速发展和应用，如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注。本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析，结合稀薄气体流动特性、传热学及工业化生产需求，设计研制了采用内置裂解加热器的聚对二甲苯真空镀膜设备。同时，根据聚对二甲苯镀膜室特有的环境工况以及膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌的特性，
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随着聚对二甲苯（Parylene）镀膜技术的快速发展和应用，如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注。本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析，结合稀薄气体流动特性、传热学及工业化生产需求，设计研制了采用内置裂解加热器的聚对二甲苯真空镀膜设备。同时，根据聚对二甲苯镀膜室特有的环境工况以及膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌的特性，提出了对鲜花和低水分干种子进行镀膜保护的工艺研究，拓展了聚对二甲苯镀膜技术在农业领域的应用。
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