【摘 要】
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化学汽相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称 CVD)是利用某些气体在高温下的固体表面进行化学反应,生成涂层。将一些硬度高、化学稳定性好的陶瓷材料沉积到硬质合金、工具
【机 构】
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大连理工大学基础课教学部,大连理工大学铸造工程研究中心
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化学汽相沉积(Chemical Vapor Deposition,简称 CVD)是利用某些气体在高温下的固体表面进行化学反应,生成涂层。将一些硬度高、化学稳定性好的陶瓷材料沉积到硬质合金、工具钢等材料表面,制备涂层,已成为当前重要的发展技术之一。1 沉积过程1.1预处理 通用拉丝模是由韧性较好的硬质合金YG8制成模芯,压入45#钢套中,然后进行粗磨、精磨、抛光等工序制成,再经除油污、除锈等净化处理后干燥待用。1.2 沉 积 沉积装置见图1,将装有干净拉丝模(基体)的反应室封闭,N2置换后加热至H2还原温度
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