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对不同电阻率的N型硅材料（电阻率从5～100Ω·cm）在太赫兹波波段的折射率、消光系数和吸收系数等特性参数，利用返波振荡器（BWO）太赫兹波系统进行了测试、计算和分析，得到N型硅在0．23THz到0．375THz频段范围内的光学特性．表明在这一波段N型硅的太赫兹波吸收系数随着电阻率的增加而减小，吸收系数最小值可达到3．39×10^-4cm^-1．分析表明，它将是潜在的太赫兹波波导的最佳候选材料．