化学气相沉积制取钨

来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Phoenix164
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本文较详细地介绍了用化学气相沉积(CVD)方法制取钨制品,如钨管、W-Re合金管、毛细管、棒材等的设备与工艺,化学气相沉积涂层金属钨的用途及其在某些基体上的粘附情况。 This paper introduces in more detail the equipment and process of preparing tungsten products such as tungsten tube, W-Re alloy tube, capillary tube and bar by chemical vapor deposition (CVD) method, the use of chemical vapor deposition coating metal tungsten and its Adhesion on some substrates.
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