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以天然石英粉为原料，先进行活化预处理，然后在１３５０℃左右进行碳热还原氮化，制备了氮氧化硅粉末。实验结果表明：氮化过程中ＳｉＯ２的转化率及产物中氮氧化硅（Ｓｉ２Ｎ２Ｏ）的含量与ＳｉＯ２的活化程度、氮化温度及添加剂等因素有关，其中氮化温度以１３５０℃为佳；随着ＳｉＯ２活化程度的提高，其转化率也提高；添加少量的ＳｒＯ，可以进一步提高ＳｉＯ２的转化率。此外，还分析了ＳｉＯＣＮ系统中气体分压对Ｓｉ２Ｎ２Ｏ形成的影响。