【摘 要】
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评述了用于沉积保护镀层的冷等离子技术,它应用于沉积陶瓷薄膜时,能降低工艺温度,从而可以在沉积之前进行金属的热处理。在硬化钢的表面时,能有效地缩短处理时间和减少能源消
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评述了用于沉积保护镀层的冷等离子技术,它应用于沉积陶瓷薄膜时,能降低工艺温度,从而可以在沉积之前进行金属的热处理。在硬化钢的表面时,能有效地缩短处理时间和减少能源消耗。提出了在冷态系统中等离子体/表面反应的简单模型,讨论了与该模型有关的一些沉积技术。
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