分光光度法测定多晶硅生产尾气回收氢中的微量磷化氢

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采用溴水作为吸收溶液,将尾气回收氢中的微量磷化氢氧化吸收、富集后生成磷酸。在酸性介质中正磷酸与钼酸铵反应生成磷钼杂多酸,用抗坏血酸还原为蓝色的络合物,然后采用分光光度法于700nm波长处测定吸光度,间接计算出磷化氢含量。实验结果表明,在0—400wg/L浓度范围内磷的线性关系良好(r=0.999),方法检出限为0.045μg/L。该方法操作快速简便,可应用于多晶硅生产尾气回收氢中微量磷化氢的测定。
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