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MEMS惯性技术是近年来战术级惯性导航的研究热点,也是惯性导航技术未来的主要发展方向之一。本文介绍了MEMS惯性传感器的发展概况,结合Draper实验室的MEMS惯性系统项目计划介绍了MEMS惯性系统的发展,分别介绍了MEMS惯性测量单元和MEMS组合导航技术的最新进展,并展望了MEMS惯性系统的发展趋势。高性能MEMS陀螺、芯片级MEMS-IMU和MEMS组合导航系统是MEMS惯性技术未来的发展趋势。