4H-SiC trench MOSFET with an integrated Schottky barrier diode and L-shaped P+ shielding region

来源 :半导体学报(英文版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:lulu6661125
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A novel 4H-SiC trench MOSFET is presented and investigated by simulation in this paper.The device features an integrated Schottky barrier diode and an L-shaped P+ shielding region beneath the gate trench and aside one wall of the gate trench (S-TMOS).The integrated Schottky barrier diode works as a free-wheeling diode in reverse recovery and reverse conduction,which significantly reduces reverse recovery charge (Qrr) and reverse turn-on voltage (VF).The L-shaped P+ region effectively shields the coupling of gate and drain,resulting in a lower gate-drain capacitance (Cgd) and date-drain charge (Qgd).Compared with that of conventional SiC trench MOSFET (C-TMOS),the VF and Q2rr of S-TMOS has reduced by 44% and 75%,respectively,with almost the same forward output current and reverse breakdown voltage.Moreover,the S-TMOS reduces Qgd and Cgd by 32% and 22%,respectively,in comparison with C-TMOS.
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