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文中提出了一种新型基于驻波模式的声表面波（SAW）MEMS—IDT陀螺仪，包括一个谐振腔内驻波反节点位置分布金属点阵的两端SAW谐振器和一组平行于谐振器设置的双延迟线型SAW振荡器。SAW谐振器形成稳定的驻波，由于旋转利用分布的金属点阵产生Coriolis力并激发垂直于旋转方向的二次SAW，并与SAW延迟线上传播的sAw产生相干效应，以此改变声波速度，从而导致延迟线型振荡器的频率输出发生变化。双延迟线振荡器结构有效地降低由于外围温度等干扰的影响。单相单向换能器（SPUDT）以及梳状换能器结构用于构建SAW