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介绍了6自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法,弹性导轨及柔性铰链在微动工作台中的应用.这种形式的微动工作台结构简单紧凑,可以避免工作台在各运动方向之间的相互干扰,使微动工作台具有很高的运动精度.
弹性导轨在6自由度微动工作台中的应用
【摘 要】
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介绍了6自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法,弹性导轨及柔性铰链在微动工作台中的应用.这种形式的微动工作台结构简单紧凑,可以避免工作台在各运动方向之间的相互干
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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2003年3期
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