Feature of Polysilane （UV Light Sensitive Materials）Treated by O2—plasma

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：winningking

【摘要】

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From the analysis of infrared(IR)transmission spectrum,it was showed that the SiOx,films were produced when polymethyl phenethyl silane(PMPES)was treated with O

【作者】

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XIEMaonong FUHejian 等

【机构】

：

Dept.ofPhysics,Dept.ofChemistrySichuanUniversity

【出处】

：

半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

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1998年4期

【关键词】

：

紫外线感光材料聚硅烷氧等离子体硅氧化物 Flat Band Voltage O2plasma Polysilane

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From the analysis of infrared(IR)transmission spectrum,it was showed that the SiOx,films were produced when polymethyl phenethyl silane(PMPES)was treated with O2-plasma,where the x ranged from 1.5 to 2.This film has a positive flat band voltage on the cur

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