半导体进行激光退火时预热温度的计算

来源 :沈阳工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ppcppc825406
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以P型为Si片为例,给出了连续CO2激光吸收率β(T),吸收系数α(T)和反射率R(T)与温度的关系,利用这些关系给出了CO2激光退火最佳预热温度的理论计算方法。
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