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Mechanical model of nanoparticles for material removal in chemical mechanical polishing process
Mechanical model of nanoparticles for material removal in chemical mechanical polishing process
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kbens
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
Hao CHEN
Dan GUO
Guoxin XIE
Gu
【机 构】
:
State Key Laboratory of Tribology, Tsinghua University, Beijing 100084, China
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2016年2期
【关键词】
:
nanoparticle
chemical mechanical polishing (CMP)
contact theory
material removal
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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