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等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量控制光学膜的技术，报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标，用这个源制造的ＴｉＯ２膜工艺与成膜质量，以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。
等离子辅助成膜技术
【摘 要】
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等离子辅助沉积技术是一种能大规模高质量控制光学膜的技术，报道了我们研制的等离子辅助源的性能指标，用这个源制造的ＴｉＯ２膜工艺与成膜质量，以及用等离子辅助生产减反膜的工艺。
【机 构】
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北京理工大学光电工程系,中科院空间中心
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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