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研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结果组成和设计原理。
钟罩式高温烧结炉
【摘 要】
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研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉，介绍该烧结炉的结果组成和设计原理。
【机 构】
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电子工业部第48研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年1期
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