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普莱克斯中国公司6月30日宣布，已开始为上海华力微电子有限公司（以下简称华力）的12英寸集成电路芯片生产线供应干燥压缩空气、超高纯度氧气、氮气、氩气、氢气和氦气。
普莱克斯向华力微电子供气
【摘 要】
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普莱克斯中国公司6月30日宣布，已开始为上海华力微电子有限公司（以下简称华力）的12英寸集成电路芯片生产线供应干燥压缩空气、超高纯度氧气、氮气、氩气、氢气和氦气。
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2011年4期
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