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冷阴极反离子镀技术自从问世以来，由于具有高电离度和较高的离子能量，因而在镀制高硬度、高耐磨性薄膜方面得到了广泛的应用。如切削刀具、模具上的硬质薄膜、汽缸活塞环发动机内壁上的抗磨损薄膜，等等。同时由于电弧离子镀设备结构简单、镀膜过程容易控制，它在装饰镀方面也获得了广泛的应用，如仿金镀以及一些五金件的装饰镀。但是由于普通电弧离子镀膜过程中阴极会产生大量液滴（微粒），并与金属离子一起沉积在基片上，因而限