【摘 要】
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A superhard α-Si_3N_4 film,deposited on metal substrate,was produced by laser chemicalvapor deposition adopting a kW-level high power CO_2 laser.Most films ar
【出 处】
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Acta Metallurgica Sinica(English Edition)
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A superhard α-Si_3N_4 film,deposited on metal substrate,was produced by laser chemicalvapor deposition adopting a kW-level high power CO_2 laser.Most films are composedof fine Si_3N_4 partieles.They join the metal substrate in strong bond.The films havesuper hardness,excellent resistance to wear and corrosion,etc.Their thickness may becontrolled within 5-30 μm.
A superhard α-Si_3N_4 film, deposited on metal substrate, was produced by laser chemical vapor deposition employing a kW-level high power CO_2 laser. Most films are composed of fine Si_3N_4 partiels. They join the metal substrate in strong bond. The films have super hardness, excellent resistance to wear and corrosion, etc. The thickness may be controlled within 5-30 μm.
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