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采用磁控溅射法（RF）在玻璃衬底上沉积不同Al含量的Zn0薄膜，利用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和紫外分光光度计研究了不同浓度的掺杂对薄膜结构和光学性能的影响．结果显示：所有样品都呈现出较强的（002）衍射峰，有较好的c轴择优取向；薄膜表面平整光滑，晶界较明显；薄膜的平均透射率均在85％以上，并随着Al掺杂量的增加而降低；随着Al掺杂量的增加，薄膜的光学带隙值先增大，后减小，吸收边先蓝移，后红移．这与量子限制模型计算结果的变化趋势完全一致．