【摘 要】
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研究了退火态Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-Zr薄膜的微观结构和电性能.结果表明,溅射态非晶薄膜Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-Zr在加热到700 °C的过程中,主要析出2种晶化相:Cr(Al,Si)2和Si
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研究了退火态Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-Zr薄膜的微观结构和电性能.结果表明,溅射态非晶薄膜Cr-Si-Al和Cr-Si-Al-Zr在加热到700 °C的过程中,主要析出2种晶化相:Cr(Al,Si)2和Si纳米晶化相,其中Cr-Si-Al-Zr薄膜中的晶化相Cr(Al,Si)2包含有少量Zr原子.Zr原子的加入抑制了晶化相的形核和长大,从而Cr-Si-Al-Zr薄膜与Cr-Si-Al薄膜相比,需更高的退火温度才能达到趋于零的电阻温度系数.因此,Cr-Si-Al-Zr薄膜具有更好的电学稳
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