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采用电弧离子镀(AIP)技术在Ti6A14V基体表面沉积制备了NiCrAlY涂层。通过金相观察(OM)、扫描电镜(SEM)与能谱(EDS)分析、X射线衍射(XRD)分析以及显微硬度测试,研究了真空热处理对NiCrAlY涂层组织性能的影响,讨论了Ti6A14V基体/NiCrAlY涂层界面元素扩散规律。结果表明:700℃真空热处理后,NiCrAlY涂层中开始析出γ-Ni3Al相,这提高了涂层的表面硬度;在700℃温度下,Ti6A14V基体/NiCrAlY涂层界面由外至内出现Ni3(Al,Ti)、TiNi和Ti