线位移测量用激光干涉仪的检定

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在机床调整中为测量线位移,广泛使用激光干涉仪。其构造形式可以测量被测对象的平面性及直线性偏差,还可以进行线性位移的两座标测量。备有测量结果修正装置和外界条件自动补偿器的现代干涉仪,能在数字显示器、双座标自动记录器或数字打印机上,记录测量结果。全苏门捷列夫计量科学研究院 In the machine adjustment for the measurement line displacement, widely used laser interferometer. Its structure can measure the flatness and linearity deviation of the measured object, and can also perform two-coordinate measurement of linear displacement. A modern interferometer with a measurement correction device and an external condition compensator records measurement results on a digital display, a two-coordinate auto recorder or a digital printer. Quan Su Men Jie Lev Institute of Metrology
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