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探讨了加固型CC4007经^60Coγ射线辐照后NMOS晶体管的退火特性,研究了辐照敏感参数随辐照剂量、退火温度、退火时间和退火偏置的变化关系。经相同总剂量辐照的器件,高源100℃下的退火速度远大于室温25℃下退火速度。25 ̄250℃下的等时退火,其退火程度接近168h的100℃等温退火。对不同的退火情况,退火偏置的作用是相似的,+5V栅偏压退火速度大于0V栅偏压和浮空退火速度。对氧化物陷阱电荷的