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以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和Zn源温度下生长ZnO薄膜的最佳参数.本文还讨论了该方法制备ZnO薄膜的沉积机制及优化条件下样品的透光特性.
反应沉积法制备c轴取向ZnO薄膜及表征
【摘 要】
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以二水合醋酸Zn为原料,采用反应沉积方法在非晶玻璃衬底上制备出了高度c轴取向、结晶良好的ZnO薄膜.研究了不同衬底温度和Zn源温度对ZnO薄膜性质的影响,探讨了不同衬底温度和
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2002年6期
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