【摘 要】
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驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度，但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地
【机 构】
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西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室
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驱动电流是热敏式剪应力微传感器的一个重要参数。增大驱动电流可以提高传感器的灵敏度，但传感器的安全工作温度又限制了驱动电流的增大。研究了如何基于驱动电流来最大程度地提高传感器灵敏度。从理论上分析了传感器灵敏度随剪应力输入的变化规律。通过静水中的I—V特性测试实验，确定了传感器在水下工作的最大允许驱动电流。通过电压-剪应力特性测试实验，验证了传感器灵敏度与驱动电流的关系，得到了传感器在最大允许驱动电流激励下的灵敏度。研究，发现最大允许驱动电流可以使传感器在剪应力为0．2Pa时的灵敏度达到23．8mV／Pa。
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