论文部分内容阅读
微泵在微流控化学分析芯片中有很大的应用前景，日益成为人们研究的热点。从结构设计、理论分析和工艺加工3个方面研究了微阀与微泵，设计出用压电驱动和聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜的集成微阀与微泵，其特点是原理新颖、结构简单、易于加工、操作方便。结构主要是由PDMS泵膜、硅片和压电驱动器组成，其中，PDMS既是泵膜和缓冲单元，也是主动阀片。在直流电压的驱动下，其工作状态是微阀，阻止流体的单向流通，在方波信号的驱动下，其工作状态是微泵，实现流体的吸入与泵出。给出各种几何参数、工作原理和工艺流程。