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本文叙述了净化二氯二氢硅的方法，结果表明配合物是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。
配合法净化电子级二氯二氢硅
【摘 要】
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本文叙述了净化二氯二氢硅的方法，结果表明配合物是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。
【机 构】
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化工部光明化工研究设计院
【出 处】
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化学世界
【发表日期】
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1997年8期
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