【摘 要】
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基于qPlus探针的原子力显微镜具有更高的空间分辨率,工作原理有别于传统原子力显微镜的悬臂梁探针,其扫描头的准确进针是保证原子力显微镜测量结果的重要步骤。文章通过LabVI
【机 构】
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中国航空工业集团公司西安航空计算技术研究所
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基于qPlus探针的原子力显微镜具有更高的空间分辨率,工作原理有别于传统原子力显微镜的悬臂梁探针,其扫描头的准确进针是保证原子力显微镜测量结果的重要步骤。文章通过LabVIEW控制扫描压电陶瓷运动,并对扫描头的环境噪声和电学噪声进行分析,证实了qPlus探针尖端的振动状态会影响针尖接近表面的稳定性,通过优化进针程序,得到了稳定的进针结果,本文的进针控制系统对优化qPlus探针扫描头结构提供了参考。
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