【摘 要】
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为了减少单晶硅太阳电池的光学损失，需在硅片表面制备大小合适且分布均匀致密的金字塔结构。基于此目的，在一步制绒基础上开发出两步制绒工艺，即原硅片依次经过两个化学溶液配比不同、反应时间不同的制绒槽。第1个槽药液浓度较高，化学反应速率较快，金字塔能够快速成核生长；第2个槽药液浓度较低，化学反应速率较慢，从而获得结构独立且均匀性较好的金字塔。实验表明：第1个槽的最佳反应时间在250～300 s，第2个槽的
【基金项目】
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河南省中国科学院科技成果转移转化项目（2020108）；
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为了减少单晶硅太阳电池的光学损失，需在硅片表面制备大小合适且分布均匀致密的金字塔结构。基于此目的，在一步制绒基础上开发出两步制绒工艺，即原硅片依次经过两个化学溶液配比不同、反应时间不同的制绒槽。第1个槽药液浓度较高，化学反应速率较快，金字塔能够快速成核生长；第2个槽药液浓度较低，化学反应速率较慢，从而获得结构独立且均匀性较好的金字塔。实验表明：第1个槽的最佳反应时间在250～300 s，第2个槽的最佳反应时间在100～130 s。相对于一步制绒工艺，两步制绒工艺形成的硅片表面反射率降低0.5%，增加了表面对光的吸收，可使太阳电池获得更高的光电转换效率。
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