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简要的叙述了光学薄膜光学特性的通用计算方法，即特征矩阵法。采用这种方法的逆运算形式，应用计算机辅助计算和检测技术，在国内首次完成对多层光学薄膜镀膜后或制备过程中各膜层光学厚度的检测。同时介绍了有关的计算公式和计算程序流程，最后给出试验数据结果和结论。
计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨
【摘 要】
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简要的叙述了光学薄膜光学特性的通用计算方法，即特征矩阵法。采用这种方法的逆运算形式，应用计算机辅助计算和检测技术，在国内首次完成对多层光学薄膜镀膜后或制备过程中各膜层
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2000年6期
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