铝/硅肖特基接触的AES研究

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用PHI-550型电子能谱仪中的AES测量了蒸发法和溅射法制备的铝/硅肖特基接触的组分深度分布,结果表明两者在界面过渡区的组分深度分布存在着明显的差异,并初步探讨了铝/硅肖特基接触的形成机理。 The component depth distributions of the Al / Si Schottky contact prepared by evaporation and sputtering were measured by AES in PHI-550 electron spectrometer. The results showed that the distribution of the component depth in the interface transition region existed Obvious differences, and initially discussed the aluminum / silicon Schottky contact formation mechanism.
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