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期刊论文
微纳米沟道光栅加工工艺研究
微纳米沟道光栅加工工艺研究
来源 :重庆科技学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:pgzwoaini1
【摘 要】
:
以ICP-501为刻蚀设备,以C4F8和SF6为刻蚀气体,以Xe气为辅助气体,以lift-off方法得到的铬掩模对966线/mm的光栅进行刻蚀。结果表明,在选定的工艺条件下,刻蚀光栅结构与理论设计较为
【作 者】
:
李广伟
【机 构】
:
中国科学院福建物质结构研究所,福建中科晶创光电科技有限公司
【出 处】
:
重庆科技学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2016年5期
【关键词】
:
感应耦合
等离子体
铬掩模
光栅
深刻蚀
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以ICP-501为刻蚀设备,以C4F8和SF6为刻蚀气体,以Xe气为辅助气体,以lift-off方法得到的铬掩模对966线/mm的光栅进行刻蚀。结果表明,在选定的工艺条件下,刻蚀光栅结构与理论设计较为符合,衍射效率也接近于理论设计。
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