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微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制造等内容,并在此基础上对微悬臂梁传感器在生物化学领域的应用作了介绍。
微悬臂梁传感器及其在生化领域的应用
【摘 要】
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微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。详细阐述了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术、设计与制
【机 构】
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四川信息职业技术学院电子工程系,中国科学院微电子研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年6期
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