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偏振光器件，如波片和偏振片等，当自身有误差或具有安装误差时．会对外差干涉仪的非线性误差产生影响。通过理论分析和试验发现了一个与传统理论不同的重要事实，即当波片和偏振片位于偏振分光镜之前和之后时，它们的误差对非线性的影响不同。如果把有误差的波片和偏振片放置在偏振分光镜前面，其误差将100％~1入非线性；如果将相同的这些光学元件安装在干涉仪里面，有可能影响非线性，但通常在高阶误差范围内。