【摘 要】
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采用射频磁控反应溅射法，以高纯Si为靶材，高纯N2气为反应气体，在蓝宝石和硅衬底上制备了氮化硅薄膜。并对Si3N4薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能等进行了研究。实验结
【机 构】
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第二炮兵工程学院,西北工业大学材料学院
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采用射频磁控反应溅射法，以高纯Si为靶材，高纯N2气为反应气体，在蓝宝石和硅衬底上制备了氮化硅薄膜。并对Si3N4薄膜的沉积速率、成分、结构及红外光学性能等进行了研究。实验结果表明，沉积薄膜中Si和N的比接近3：4，形成了Si3N4化合物，呈非晶态结构。制备的Si3N4薄膜的硬度明显高于蓝宝石衬底的硬度，且与蓝宝石衬底结合牢固，可提供良好的保护性能。
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