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为了研究静电致动圆板静态和动态特性，在模态分析法的基础上，利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法，将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式．结合Hamilton原理，导出静电致动微圆板的动力学特性方程的宏模型．以此为基础研究了板的静态特性及其三角波、方波信号激励下的动态响应．结果表明，模态分析方法能够考虑到残余应力的影响，所建立的动态宏模型不仅大大地减少了计算费用，而且具有足够的仿真精度．