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用改进溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si上制备了钇（Y）掺杂Ba0．6Sr0.4TiO3（BST）薄膜，研究了Y掺杂对BST薄膜表面结构和介电性能的影响。XPS结果表明，Y掺杂有利于薄膜钙钛矿结构的形成，但对氧空位没有明显的抑制作用。SEM和AFM结果表明，Y掺杂能缓解薄膜应力、减少薄膜裂纹、细化晶粒，进而改善薄膜的表面结构。在进行Y掺杂后，薄膜的介电性能得到明显提高，40V外加电压下的介电调谐率大于40％及零偏压下介电损耗为0．0210，优化因子大于20。