【摘 要】
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基于超短脉冲激光多光子电离显微成像原理,利用平均功率50μW、脉冲重复频率1kHz的50fs激光脉冲,对铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池进行深度扫描,比较分析了单纯钠钙玻璃衬底、镀
【机 构】
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中国人民武装警察部队学院基础部; 南开大学现代光学研究所光学信息技术科学教育部重点实验室; 中油管道物资装备有限公司;
【基金项目】
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武警学院2016年度中青年教师科研创新计划课题(KYCX201614)资助项目
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基于超短脉冲激光多光子电离显微成像原理,利用平均功率50μW、脉冲重复频率1kHz的50fs激光脉冲,对铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池进行深度扫描,比较分析了单纯钠钙玻璃衬底、镀钼钠钙玻璃和铜铟镓硒/钼膜层/钠钙玻璃三种不同结构样品飞秒激光电离辐射信号的差别。实验发现,对应于不同膜层材料的飞秒激光诱导的电离辐射信号强度明显不同,在钠钙玻璃中电离辐射信号的强度约为空气本底的20倍,在Mo背电极层信号强度约为钠钙玻璃衬底的50倍,而CIGS层则出现与其带隙相对应的吸收谷,谷的强度与空气背景相同,利用多光子电离显微术对太阳电池进行逐点扫描可以对CIGS和Mo背电极层的成膜质量、吸收带隙和微纳结构进行精细研究。分析表明,超短脉冲多光子电离显微术对不同物质边界处的变化非常敏感,在具有多层结构的复杂器件的微观特性检测方面具有独特的优势。
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