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期刊论文
气相合成SnO2超微粒薄膜研究
气相合成SnO2超微粒薄膜研究
来源 :化学物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhouxifengli
【摘 要】
:
用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2超微粒薄膜,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理.结果表明, SnO2超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大;蒸
【作 者】
:
陆慧
王亮兴
贺黎明
滕月莉
潘孝仁
【机 构】
:
华东理工大学物理系
【出 处】
:
化学物理学报
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
SNO2
超微粒薄膜
结构
气相合成
二氧化锡
结构
SnO2
Ultrafine particle films
Structure
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用直流气体放电活化反应蒸发法在玻璃基片上沉积的SnO2超微粒薄膜,研究其过程中各工艺参数对薄膜结构的影响及作用机理.结果表明, SnO2超微粒薄膜粒径随氧分压增加而增大;蒸镀时间的延长有助于SnO2的生成,也使薄膜发生晶化;而增加放电电压,则薄膜出现外延单晶生长趋势.
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