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在真空系统中,接口之间的密封主要有金属与橡胶密封.橡胶属于弹性元件,是一种适应性很强的密封件,其广泛应用于真空系统中.实验研究了O形氟橡胶圈放气特性对痕量气体分析的影响,在利用超高真空封闭式离子源的四极质谱系统,对O形氟橡胶圈释放气体进行分析.实验发现O形氟橡胶圈释放大量的氧气等杂质气体,在痕量杂质分析系统上,不适合使用O形橡胶圈作为密封器件.