【摘 要】
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光源掩模联合优化是28nm及以下节点浸没式光刻机提高光刻系统分辨率的关键技术，自由照明系统中微反射镜阵列是支撑该技术实现的核心部件。本文提出了一种单悬臂微反射镜结构,省去了外部可动框架配置，该结构仅在两个固定电极的驱动下即能实现镜面的二维偏转，简化了驱动模块。同时设计了一种台阶式驱动电极结构对微反射镜单元进行优化，当在双驱动电极上均施加55V电压时，最大偏转角度达到了26.2mrad，同初始驱动电
【基金项目】
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上海市集成电路科技专项支撑（220501110600）；
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光源掩模联合优化是28nm及以下节点浸没式光刻机提高光刻系统分辨率的关键技术，自由照明系统中微反射镜阵列是支撑该技术实现的核心部件。本文提出了一种单悬臂微反射镜结构,省去了外部可动框架配置，该结构仅在两个固定电极的驱动下即能实现镜面的二维偏转，简化了驱动模块。同时设计了一种台阶式驱动电极结构对微反射镜单元进行优化，当在双驱动电极上均施加55V电压时，最大偏转角度达到了26.2mrad，同初始驱动电极结构下的最大偏转角17.8mrad相较，可动极板下拉位移提高了46.6%。
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目的：学业倦怠是指学生因不能有效应对学业压力而产生的应激反应，本研究试图揭示自然联结是如何帮助青少年积极应对学业压力的，以及这一应对机制对来自低家庭社会经济地位的青少年是否有效。方法：采用自然联结量表、主观活力量表、青少年学业倦怠量表、家庭社会经济地位量表对761名青少年进行测量。结果：（1）自然联结显著负向预测青少年学业倦怠。（2）主观活力在二者之间起中介作用。（3）主观活力的中介作用受家庭社会
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为提升学生职业素养和专业技能水平，不断适应社会对高素质技能型人才的需求，落实技工院校学生顶岗实习、培养国家急需的高技能人才工作，提升顶岗实习学生管理水平势在必行。本文从技工院校顶岗实习存在的问题入手，剖析顶岗实习有效运行的对策，以期提升技工教育水平，为社会经济发展服务。
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