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高能纳秒激光烧蚀硅时，往往会伴随着相爆炸过程，它决定了烧蚀的形貌特征。基于相爆炸的物理过程，分析了相应的烧蚀形貌：相爆炸的发生会使得硅材料发生大范围的去除，高温熔化材料的混合物向外喷溅，冷却形成放射状的冷却条，期间分布着冷却的球状微粒；超热液体的去除部位形成一个类似花瓣状坑，在坑中由于入射光与散射光的干涉形成条纹，其周期与激光光波相似。