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期刊论文
电子化学品领域标准化工作动态
电子化学品领域标准化工作动态
来源 :信息技术与标准化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shajia0902
【摘 要】
:
介绍了电子化学品领域技术和产品的分类,重点阐述SEMI、IEC/TC91、SAC/TC203、SAC/TC47四个标准化组织在电子化学品领域的标准化工作情况,并提出完善标准体系、搭建标准符合
【作 者】
:
裴会川
王香
冯亚彬
付雪涛
【机 构】
:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会电子化学品标准工作组
【出 处】
:
信息技术与标准化
【发表日期】
:
2012年12期
【关键词】
:
电子化学品
标准化
SEMI
IEC/TC91
SAC/TC203
SAC/TC47
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介绍了电子化学品领域技术和产品的分类,重点阐述SEMI、IEC/TC91、SAC/TC203、SAC/TC47四个标准化组织在电子化学品领域的标准化工作情况,并提出完善标准体系、搭建标准符合性检测平台、从源头控制有害化学物质等我国电子化学品领域标准化工作重点。
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