激光微加工制作的微光纤珐-珀加速度传感器

来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kwl9970024
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将157 nm激光微加工制作的微光纤珐-珀腔贴于悬臂梁结构构成加速度传感器。通过设计特定的悬臂梁结构和FFT方法,该加速度传感器的分辨率约为1.13 mg/Hz~(1/2)。通过采用MUSIC算法处理信号,信噪比可提高45 dB,系统分辨率约为3.56×10~(-2)/Hz~(1/2)。该微光纤珐-珀传感器具有可批量制作、成本低、抗高温、量程灵活等优点,有望应用于石油勘探、地震测量等领域中。
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