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期刊论文
蓝宝石衬底基片平整加工专利分析
蓝宝石衬底基片平整加工专利分析
来源 :河南科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaochao321
【摘 要】
:
蓝宝石是国际上公认的LED衬底材料,但其硬度高且脆性大机械加工困难,蓝宝石晶体切割后需要经过平整加工达到规定的平面度、粗糙度、晶格完整性等指标后方可使用。基于蓝宝石
【作 者】
:
周雪
覃超
【机 构】
:
国家知识产权局专利局专利审查协作四川中心
【出 处】
:
河南科技
【发表日期】
:
2020年6期
【关键词】
:
蓝宝石
衬底
基片
平整
研磨
抛光
技术路线
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蓝宝石是国际上公认的LED衬底材料,但其硬度高且脆性大机械加工困难,蓝宝石晶体切割后需要经过平整加工达到规定的平面度、粗糙度、晶格完整性等指标后方可使用。基于蓝宝石衬底片平整加工专利,本文从申请量、申请区域以及技术发展路线三方面展开分析。
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