【摘 要】
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MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景.由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势.介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析.根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向和敏感的阈值大小,对国内外研究的惯性开关进行了分类和阐述.此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工
【机 构】
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上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240;西安机电信息技术研究所,陕西西安710065;淮海工业集团有限公司MEMS中心,山西长治046012
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MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景.由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势.介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析.根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向和敏感的阈值大小,对国内外研究的惯性开关进行了分类和阐述.此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工工艺和测试.对MEMS惯性开关器件进行了相应的总结和展望,为之后的研究提供了参考.
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随着“三权分置”农地制度改革的深入,更多的非集体成员可以进入到农业生产行业,多元农业经营主体的涌现必将对我国的乡村农地利用、农业生产和社会形态产生重大的影响.根据长江中下游地区617份农业经营主体入户调研数据,采用三阶段DEA模型从产值、产量两个方面测算了不同农业经营主体的综合效率、技术效率和规模效率,得到了如下结论:从规模效率来看,产值上资本农场的表现最好,产量上家庭农场则更优;从技术效率来看,产值上传统农户最优,而产量上资本农场最高;从综合效率来看,产值上资本农场最高,产量上家庭农场最高.农地利用效率
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